• 一竞技

    半导体

    晶圆检测机


    设备参数:

    · 产能:≥ 8ppm ;

    · 准确率:≥ 95% ;

    · 稼动率:≥ 95% (仅由设备自身原因造成);

    · 漏检率:0 ;

    · 误检率:≤ 5% ;


    安装环境要求:

    · 电源要求:380VAC,50Hz ≤40KW ;

    · 压缩气源:0.4~0.7MPa  ≤1000L/H;

    · 环境温度:室温+10°~+45°;

    · 相对湿度:≯50%,无结露、无腐蚀性、可燃性气体。